Home

Journal General Situation

Submission Guidance

Special Editorial

Excellent Thesis

中文版

引用本文:

【打印本页】【下载PDF全文】【View/Add Comment】【EndNote】【RefMan】【BibTex】

←前一篇|后一篇→

过刊浏览高级检索

本文已被：浏览 946次下载 1625次
分享到：微信更多字体:加大+\|默认\|缩小-
PZT薄膜的结晶特性及红外特性
谢东珠,任玉磊¹
上海师范大学数理学院

摘要:

采用电子束蒸发方法在n-Si(100)衬底上制备Pb(ZrxTi1-x)O3(简记为PZT)多晶薄膜.用X射线衍射分析了PZT薄膜的结晶择优取向与Zr/Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系.结果表明不同Zr/Ti比的薄膜在真空中退火都形成(110)择优取向;而在空气中退火后薄膜的择优方向与Zr/Ti成分比有关,Zr/Ti比值小时为(101)择优取向,Zr/Ti大时为(100)择优取向.红外吸收光谱的测量结果表明(100)和(110)择优取向的PZT薄膜在长红外波段(8~12μm)存在较强的吸收峰

关键词: PZT材料择优取向 X射线衍射红外吸收光谱

DOI：

分类号:

基金项目:省部级基金

Abstract:

Key words: