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纳米TiO_2薄膜制备过程中的影响因素
周华;徐颖;蔡丽安1
上海交通大学机械与动力工程学院,上海师范大学机械与电子工程学
摘要:
介绍溶胶-凝胶法制备纳米TiO_2薄膜的工艺,采用实验研究与理 论分析相结合的方法,讨论了薄膜制备过程中影响制膜质量的加水方式、 加水量、乙醇量、水解温度、烧结及提拉条件等主要工艺因素,最终获得 制备纳米TiO_2薄膜的优化工艺.
关键词:  TiO_2薄膜    溶胶-凝胶    工艺因素
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