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薄层电阻测试结构的研究
孙沩,桂力敏,吴敏玲
Author Name
Affiliation
孙沩,桂力敏,吴敏玲
摘要
:
叙述了Van der Pauw(VDP)测试结构的基本原理及测量方法。试制了七种这类的测试结构。用圆形VDP结构和匹种不同形状的十字形结构对基区、发射区的薄层电阻进行了测量,以检查扩散的均匀性,不同结构测得结果基本相符。用十字——桥结构测量了窗口的育效宽度,用平面四探针结构测量了单晶衬底的电阻率。结果说明测试结构确是监察工艺的有效工具。
关键词
:
无
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:
Key words
:
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