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单晶炉计算机闭环自动控制的数学模型
郑毓蕃
1
上海师范大学数学系
摘要
:
直拉法生长单晶是目前单晶工业生产中使用得比较普遍的一种方法。这种系统比较复杂控制精度又高。据有关方面介绍,多年来国内外使用常规仪表一直未能实现对硅单晶生长的闭环自动控制。一九七六年,我们尝试应用现代控制理论来解决这一问题,取得了效果。本文重点在于介绍该系统数学模型的提取及其实时控制模型的建立过程。类似的方法对其他控制系统也可借鉴使用
关键词
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无
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