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扫描电子显微镜的扫描电路研制
涂晶晶，忻云龙，谢东珠
1
上海师范大学数理学院
摘要
:
报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路，其扫描速率可达到每秒 10 6 像素，讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响，提出了一种矫正扫描线圈电感所引起的电流非线性的方法，应用到扫描电子显微镜 DXP － 10 中，得到了较好的 扫描图像．
关键词
:
电子显微镜
模拟电路
噪声抑制
DOI：
分类号
:
基金项目:
其它基金
Abstract
:
Key words
:
