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| 扫描电子显微镜的扫描电路研制 |
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涂晶晶，忻云龙，谢东珠1
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上海师范大学数理学院
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| 摘要: |
| 报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路，其扫描速率可达到每秒 10
6 像素，讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响，提出了一种矫正扫描线圈电感所引起的电流非线性的方法，应用到扫描电子显微镜 DXP － 10 中，得到了较好的
扫描图像． |
| 关键词: 电子显微镜 模拟电路 噪声抑制 |
| DOI： |
| 分类号: |
| 基金项目:其它基金 |
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| Abstract: |
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| Key words: |
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