期刊社
首页
编委会
期刊概况
投稿指导
优秀论文
联系我们
English
快速检索:
文章编号
中文标题
英文标题
作者英文名
作者中文名
单位中文名
单位英文名
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
基金项目
引用本文:
【打印本页】
【下载PDF全文】
【
查看/发表评论
】
【EndNote】
【RefMan】
【BibTex】
←前一篇
|
后一篇→
过刊浏览
高级检索
本文已被：浏览
692
次 下载
635
次
分享到：
微信
更多
字体:
加大+
|
默认
|
缩小-
薄层电阻测试结构的研究
孙沩,桂力敏,吴敏玲
作者
单位
孙沩,桂力敏,吴敏玲
摘要
:
叙述了Van der Pauw(VDP)测试结构的基本原理及测量方法。试制了七种这类的测试结构。用圆形VDP结构和匹种不同形状的十字形结构对基区、发射区的薄层电阻进行了测量,以检查扩散的均匀性,不同结构测得结果基本相符。用十字——桥结构测量了窗口的育效宽度,用平面四探针结构测量了单晶衬底的电阻率。结果说明测试结构确是监察工艺的有效工具。
关键词
:
无
DOI：
分类号
:
基金项目:
Abstract
:
Key words
:
