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| 利用微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三维结构的微腔型传感器，微芯片（3×6mm^2）具有三维腔体（腔深300μm，铂工作电极1．21.2mm^2，Ag/AgCl参比）。工作电极与Ag/AgCl参比集成在同一微 芯片上，作者对微腔型电极进行了电化学特性的表征，并测试了微芯片上Ag/AgCl参比电极的性能，考察了微腔型传感器在化学传感器、生物传感器方面的初步应用。对H2O2，半乳糖进行检测。 |
| 关键词: 微腔型传感器 微机械加工技术 化学传感器 生物传感器 电化学表征 应用 各向异性腐蚀技术 |
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